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湿处理设备

适用于：
预清洗、去胶清洗、RCA清洗、扩散前/后清洗、外延清洗、金属刻蚀、硅刻蚀等。
  • 全自动干进干出、干进湿出、半自动、手动等作业形式；
  • 自主知识产权的先进干燥技术；
  • 自动配液及补液，药液配比精确控制；
  • 模块化设计，槽位配置灵活；
  • 结构紧凑、占地面积小；
  • 工艺菜单配置丰富，编辑灵活； 
  • 搭载先进的超声/兆声清洗；
  • PLC与PC搭配，可实现工厂物联网数据实时交互。