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湿处理设备

适用于:
预清洗、去胶清洗、RCA清洗、扩散前/后清洗、外延清洗、金属刻蚀、硅刻蚀等。
  • 全自动干进干出、干进湿出、半自动、手动等作业形式;
  • 自主知识产权的先进干燥技术;
  • 自动配液及补液,药液配比精确控制;
  • 模块化设计,槽位配置灵活;
  • 结构紧凑、占地面积小;
  • 工艺菜单配置丰富,编辑灵活; 
  • 搭载先进的超声/兆声清洗;
  • PLC与PC搭配,可实现工厂物联网数据实时交互。