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集中供液设备

   产品包括：
  • CCSS-电子级酸、碱、有机等化学品的输送；
  • LCSS-TEOS、DCE等输送；
  • SDS-Slurry配液输送。

   产品特点：
  • CE&SEMI安全认证；
  • 根据用户需求灵活定制；
  • 人性化设计，操作维护方便；
  • 分级安全的权限设置，安全可靠；
  • 智能化防呆安全系统；
  • 强大的SCADA远程监控，实现数据互联；